SX-L310S過濾器計數(shù)檢漏儀（專li號: ZL2012201478）根據(jù)ISO14633-3 B.6.3及IEST-RP-CC034.2規(guī)范要求設計，是潔凈室（區(qū)）風口掃描檢漏的儀器，由氣溶膠發(fā)生器、顆粒稀釋器及計數(shù)檢漏儀（配有手持式智能掃描探頭）三部分組成。
SX-L310S過濾器計數(shù)檢漏儀采用計數(shù)法掃描檢漏，通過計數(shù)檢漏儀以及顆粒計數(shù)器配合檢測過濾器上游濃度，根據(jù)過濾器的標示效率計算下游漏點值，通過實際掃描檢測風口下游漏點值并跟計算的漏點值進行比較，實現(xiàn)對風口的檢漏。GB/T25915《潔凈室及相關受控環(huán)境》的第三部分附錄B.6.3詳述了計數(shù)法掃描檢漏的規(guī)程，GB50591《潔凈室施工及驗收規(guī)范》推薦檢漏應優(yōu)選計數(shù)掃描法。
SX-L310S過濾器計數(shù)檢漏儀性能優(yōu)勢
l 符合國內外規(guī)范標準要求；
l 計數(shù)功能：動態(tài)GMP, 靜態(tài)GMP，ISO14644-1的等級判定，UCL自動計算；
l 自動判斷漏點值、泄露報警、泄露粒徑追蹤、現(xiàn)場打印；
l 上游發(fā)塵濃度遠小于光度計法，對過濾器傷害小；
l 檢測靈敏度高，超過濾器檢漏同樣適用；
l 內置大容量鋰電池，可連續(xù)工作4h以上；
l 推薦采用DEHS氣溶膠，檢測成本低廉。
SX-L310S過濾器計數(shù)檢漏儀技術參數(shù)
（1）計數(shù)檢漏儀(配手持式智能掃描探頭）
采樣流量 | 28.3L/min |
粒徑通道 | 0.3,0.5,1,3,5,10（um） |
尺測量重復性相對誤差 | ≤±10% |
大計數(shù)濃度 | 3.5×104P/28.3L |
計數(shù)檢漏儀與掃描探頭智能通訊 | |
上掃描速度 | 建議3~5cm/s |
內掃描探頭與濾面間距 | 建議2~4cm |
電源 | AC220V 50HZ/DC17V（交直流兩用） |
尺寸 | 291*265*280mm（長*寬*高） |
重量 | 8kg |
（2）氣溶膠發(fā)生器
發(fā)生器類型 | Laskin6~12個噴嘴 |
氣溶膠濃度 | 0-1*1012P/L |
氣溶膠類型 | 冷態(tài)、多分散 |
氣溶膠粒徑發(fā)布 | 0.3um-0.5um，集中≥70% |
氣溶膠物質 | DEHS（推薦）、PAO（可選） |
尺寸 | 350*320*180mm（長*寬*高） |
重量 | 8kg |
注：需要客戶自行配置壓縮氣泵或氣源
（3）顆粒稀釋器
稀釋器倍數(shù) | 1:70-100（@≧0.3um ） |
電源要求 | 不需要 |
尺寸 | 244*152*220mm（長*寬*高） |
重量 | 3kg |
四、檢漏流程
首先先檢查潔凈室的環(huán)境
然后：步 上游發(fā)塵
第二步 上游濃度測量
第三步 手動掃描檢測
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