更新時間:2024-06-19
儀器型號:加野Kanomax 3950
加野Kanomax 3950 超小型粒子計數器重視可視性,大畫面,觸摸屏顯示器,可在附帶軟件上顯示測試數據雙通道: 0.1um0.3um額定流量:2.83min通過實現超小型化設計,使粒子計數器嵌入裝置設備成為可0.1 um測量4.3英寸彩色液晶標配RS-485,Ethernet,USB小型化!重量大幅度輕量化以往的尺寸很難嵌入組裝在半導體制造等裝置中,本產品通過壓倒性的小型
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加野Kanomax 3950 超小型粒子計數器
重視可視性,大畫面,觸摸屏顯示器,可在附帶軟件上顯示測試數據
雙通道: 0.1um0.3um
額定流量:2.83min
通過實現超小型化設計,使粒子計數器嵌入裝置設備成為可
0.1 um測量
4.3英寸彩色液晶
標配RS-485,Ethernet,USB
小型化!重量大幅度輕量化
以往的尺寸很難嵌入組裝在半導體制造等裝置中,
本產品通過壓倒性的小型化,使傳感器嵌入設備中使用變為簡便易行。
應用范圍
作為傳感器嵌入到設備裝置中
潔凈室的清潔度管理
高清潔度區域的管理
加野Kanomax 3950 超小型粒子計數器
測試方法光散亂
粒徑區分2粒徑(0.1,0.3um)
額定流量0.1CFM(2.83L/分)精度士(符合JIS B9921 和 1$021501-4)
測量時間6秒~99分59秒(1次測量時間)
間隔時間6秒~99分59秒(測量周期)
采樣次數1~999回或 連續測試
地點區分99個地點
測量格式重復,單次,連續,計算,1S0,GB*(共6種模式)
測量數據顯示時間1~10秒
測量數據顯示計數累計值三,超過設定設定值時蜂鳥器報警
zui大可測濃度10,000,000個m
計數效率50土20%(相對于zui小可測粒徑附近的標準粒子)
100士108(相對于zui小可測粒徑的1.5倍-2倍的PSL粒子)
(符合JIS B9921和1S021501-4)
偽計數1/35min 以下
粒徑分解能15%以下(相對0.3um的PSL粒子)
(符合JIS B9921和 IS021501-4)
采樣源自帶泵
顯示器4.3英寸彩色液品,觸摸屏顯示器
記錄媒體本體:USB(Host可對于打印機,USB內存使用,、Device可對于鏈接PC使用)Ethernet.RS485(9600,19200,38400 baud)
媒體:內存
記錄數、格式:zui大10,000個,CSV格式
顯示語言英語,日語
電源AC 100~240 V
使用環境15~35'C,0~85%RH(無冷凝)
外形尺寸W150 X H163 X D228 mm
重量3.4kg